工学院大学 先進工学部 応用化学科
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2020.08.08
研究成果
無機表面化学研究室の研究成果がMaterials Science in Semiconductor Processingに掲載されました

論文タイトル: Potential of Micrometer-Sized Graphite as a Catalyst for Chemical Etching of Silicon

著者: H. Asoh, D. Sekido, H. Hashimoto

雑誌: Materials Science in Semiconductor Processing, 121, 105327 (2021)

DOI: 10.1016/j.mssp.2020.105327